微波等离子发生设备(MDLZ-1500)
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详细信息

  仪器简介:

  该设备利用频率为2450MHz的微波激励稀薄气体放电,从而产生等离子体。可用于等离子体气相沉积、等离子体气相刻蚀等实验,用于制备金刚石膜或其它多种功能薄膜,可催化引发常规化学很难实现的反应

  技术参数:

  本设备由微波系统、真空系统、水冷系统等几部分组成

  电源:AC220V,50Hz

  微波功率:0-1500W连续线性可调(或0-1000W连续线性可调)

  微波频率:2450MHz±50MHz

  石英管反应室:φ50mm

  放置样品的基片台可以方便地在放电腔内上下升降调节

  放电腔两端有双层水冷套作降温保护

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