一、任氏巨源微波化学气相沉积炉特点：
1. 高温微波化学气相沉积炉，采用纯微波加热、~传统电加热或混合加热方式，可加热包括金属在内的非易燃易爆材料，
2. 升温速率快，智能控温，可分段设置，控温稳定度好，热惯性小。同时加热多个温区，且加热区长度可调。
3. 可通各种气氛，抽真空有机械泵、扩散泵和分子泵，可达10-3Pa真空状态。
4、炉体采用不锈钢密封法兰（铰链结构），耐高温、耐腐蚀；
5、保护管采用耐高温合金管 ，气管采用卡套或VCR接口，安装方便；
6、炉体配有自动冷却风扇，降低温度；
7、真空系统：机械泵 扩散泵和分子泵，真空密度计
8、可通过电脑全程监控和调试；
二、任氏巨源微波化学气相沉积炉产品参数：
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型号/model
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WBMW-QXCJ4
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可加热材料
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非易燃易爆的任何材料
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微波频率
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2.45GHZ±50MHz
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加热方式
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纯微波加热、~传统电加热、混合加热
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微波功率/KW
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4 (功率可调)
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温度测试元件
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微波场专用传感器
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控温精度/℃
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±2（微波场专用传感器）
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加热管材质
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石英管
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高温合金管
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刚玉管
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加热温度/℃
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1200
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1200
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1600
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管径(外径/内经X长度)/mm
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∅45/∅35×1200，可选配，***大外径∅60
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加热速度
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≦200
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升温速率不限
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≦50
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恒温区长度
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标配恒温区长度100mm，恒温去长度100mm以上可定制
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温区
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可多温区同时加热
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气路法兰
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304不锈钢法兰
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质量流量控制
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美国Alicat质量流量&控制器、七星华创质量流量&控制器 气柜、气路及各类阀门，可配套计算机自动控制系统及软件
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气路数量
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2路或3路
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流量范围
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0-1SLM(标准升/分，可选配）氮气标定
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精度
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±0.2%F.S
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响应时间
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≤1sec
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工作压力
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进气压力0.05-0.35Mpa(表压力），流量规格≤10SLM
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系统连接方式
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采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪
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系统真空范围
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标准大气压～10-3Pa
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真空泵
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简单机械泵抽真空和不锈钢法兰
10-1Pa真空机械泵及真空计
10-2Pa真空机械泵、扩散泵及真空计
10-3Pa真空机械泵、分子泵及真空计
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炉腔尺寸/mm
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700X350X530
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加热腔(标配)
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0.5-3L 2个
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加热腔大小
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0.94L，2.12L，3.8L
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升温速率(标配)
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0～1000℃/min可根据实际任意设定，可编程、分段加热
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外型尺寸/mm
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1500´750´1560
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微波泄漏/ mw/cm2
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≤0.4
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提供相关配件
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防护手套×1、中文说明书×1
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保质期
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整机免费保修1年
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会员服务 
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