整机结构组成：

微波炉腔主体：钟罩式密闭谐振腔体，电磁场优化设计，微波能量均匀耦合物料；

高温保温系统：微波专用耐高温保温层 + 高温匣钵承载结构，抗微波穿透、蓄热小、长期高温不粉化；

微波馈能系统：多组磁控管功率源、环形器、水负载、波导馈口，实现功率稳定输出与反射保护；

升降机执行机构：电动自动升降钟罩，一键开合腔体，方便物料装卸、腔体密封压紧；

水冷循环系统：为磁控管、环形器、腔体法兰、密封件持续降温，保障大功率长时间连续运行；

真空系统：真空泵组 + 管路阀门，实现腔体静态高真空抽取；

气氛控制系统：质量流量计、多路进气阀、压力监测仪表，精准调控各类工艺气体通入流量；

温控与电气控制系统：红外 + 热电偶双路测温单元、触摸屏 PLC 主控柜、急停、联锁保护、数据存储模块。

技术参数：

1、 供电电源： 380±10V/50Hz 三相交流电。

2、 微波发生器总功率： 12kW 连续无级可调。

3、微波工作频率： 2.45GHz±25MHz。

4、单台磁控管输出功率： 1.5kW

6、允许工作温度 ≤1700℃

7、常规长期使用温度 1600℃

8、加热原理： 纯微波内源整体加热

9、测温方式: 雷泰红外非接触测温为主，热电偶接触式辅助校准，全程温度实时显示

10、控温操作系统：触摸屏 + 独立温控仪双冗余；支持多条自定义升温保温降温曲线；手动 / 自动双模式；USB 数据导出；断电续热记忆功能。

11、1300℃炉温均匀性 ±5℃

12、单点控温精度 ±2℃

13、静态极限真空度 100Pa

14、可通入工艺气氛 真空环境、惰性气体、弱氧化气体、弱还原性气体

15、气氛充气流量：0.5~10L/min，高精度质量流量计闭环调节

16、有效炉膛装料尺寸：Φ250mm× 高度 300mm

17、炉膛承重＞50kg

18、微波泄漏值：整机外部＜5mW/cm²（实际屏蔽优化后可做到＜1mW/cm²，优于国标）

19、循环冷却水要求 流量≥3m³/h，供水压力≥0.1MPa；进水温度 5~30℃；水质总硬度＜60mg/L，可用自来水，厂家配套独立冷水机组

20、高温承载与保温材质：匣钵长期耐受温度＞1650℃；炉膛微波专用保温材料长期使用温度＞1600℃

21、炉体结构形式：钟罩式自动升降密封结构