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详细信息
一、任氏巨源微波等离子体化学气相沉积炉应用：该款具有高电离度、高电子温度和电子密度、适用压强范围宽、无内部电极污染等特点，微波等离子体在材料表面处理、金刚石薄膜制备、化学气相沉积、刻蚀以及甲烷转化制氢、长余辉发光材料、陶瓷烧结、碳纳米管修饰[3]、纳米粉体合成、处理水污染等领域有广泛应用。
二、任氏巨源微波等离子体化学气相沉积炉产品特点：
1. 垂直反应器的设计可使等离子密度高；对称的微波发生装置，使产生的等离子场环境更均匀。
2. 微波等离子体气相沉积炉的谐振腔内没有内部电极,可以避免电极放电所产生的污染,而且,它的运行气压范围比较宽,所产生等离子体密度高、区域大,稳定度高,且不与真空器壁接触,从而避免了器壁对薄膜的污染。
三、任氏巨源微波等离子体化学气相沉积炉技术参数：
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型号/model |
WBMW-DLZ3 |
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可加热材料 |
非易燃易爆的任何材料 |
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微波频率 |
2.45GHZ±50MHz |
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加热方式 |
纯微波加热 |
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射频功率/KW |
3 (功率可调) |
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工作温度/℃ |
1200 |
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长期工作温度/℃ |
≤1100 |
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温度测试元件 |
微波场专用传感器/红外测温可选 |
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控温精度/℃ |
±2（微波场专用传感器） |
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石英管尺寸(外径/内经X长度)/mm |
φ102/φ92x1000 |
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真空系统配置（可选） |
简单机械泵抽真空和不锈钢法兰； 10-1Pa真空机械泵及真空计； 10-2Pa真空机械泵、扩散泵及真空计； 10-3Pa真空机械泵、分子泵及真空计； |
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升温速率(标配) |
0～1000℃/min可任意设定，可编程、分段加热 |
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外型尺寸(长x宽x高)/mm |
1000´750´1830 |
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微波泄漏量/ mw/cm2 |
≤0.4 |
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提供相关配件 |
防护 手套×1、中文说明书×1 |
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保质期 |
整机免费保修1年 |
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