一、任氏巨源微波等离子体化学气相沉积炉应用：该款具有高电离度、高电子温度和电子密度、适用压强范围宽、无内部电极污染等特点，微波等离子体在材料表面处理、金刚石薄膜制备、化学气相沉积、刻蚀以及甲烷转化制氢、长余辉发光材料、陶瓷烧结、碳纳米管修饰[3]、纳米粉体合成、处理水污染等领域有广泛应用。
二、任氏巨源微波等离子体化学气相沉积炉产品特点：
1. 垂直反应器的设计可使等离子密度高；对称的微波发生装置，使产生的等离子场环境更均匀。
2. 微波等离子体气相沉积炉的谐振腔内没有内部电极,可以避免电极放电所产生的污染,而且,它的运行气压范围比较宽,所产生等离子体密度高、区域大,稳定度高,且不与真空器壁接触,从而避免了器壁对薄膜的污染。
三、任氏巨源微波等离子体化学气相沉积炉技术参数：
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型号/model
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WBMW-DLZ3
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可加热材料
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非易燃易爆的任何材料
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微波频率
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2.45GHZ±50MHz
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加热方式
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纯微波加热
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射频功率/KW
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3 (功率可调)
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工作温度/℃
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1200
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长期工作温度/℃
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≤1100
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温度测试元件
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微波场专用传感器/红外测温可选
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控温精度/℃
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±2（微波场专用传感器）
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石英管尺寸(外径/内经X长度)/mm
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φ102/φ92x1000
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真空系统配置（可选）
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简单机械泵抽真空和不锈钢法兰；
10-1Pa真空机械泵及真空计；
10-2Pa真空机械泵、扩散泵及真空计；
10-3Pa真空机械泵、分子泵及真空计；
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升温速率(标配)
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0～1000℃/min可任意设定，可编程、分段加热
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外型尺寸(长x宽x高)/mm
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1000´750´1830
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微波泄漏量/ mw/cm2
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≤0.4
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提供相关配件
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防护 手套×1、中文说明书×1
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保质期
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整机免费保修1年
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会员服务 
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