技术参数：

频率： 2450 MHz +/-20 MHz

微波功率： ***大 3 kW

主电源电路 5100 V DC, 900 mA

主电源电路连接器： 高压接头, PE 和 GND: 电缆接线端子6 mm

主加热电路： 230 V AC, 50 – 60 Hz, 0.8 A ( 208 V AC, 50 – 60 Hz)

主加热电路连接器： 圆形连接器

反应器输出口： DN 63 ISO-K

涂抹器校准： 90° 扭转

冷却水： 水流量 = 4 l/min, 压力 = 4 bar, 入水口温度= 20 °C - 25 °C

冷却水接头： 输入：3/8‘’； 3/8"

工艺气体： O2, N2, H2, F2, Ar, NH3, CF4 和其他含氟气体

运行压力： 0.2 Torr – 2 Torr (标准), (***大值5 Torr)

气体连接器： G1/8” 内螺纹，如 VCR

材料： 铝、陶瓷

尺寸 (宽x 深 x 高 )： 约 320 mm x 268 mm x 281 mm

重量： 约 18 kg