星形大容积微波等

技术特点及用途

该系统是根据目前***先进的微波结构理念，设计和研制的一套多用途、高稳定中等压强微波等离子体综合实验和加工设备。它具有工作容积大、性能先进、结构独特，使用方便、安全可靠、外形美观，特别适合应用于金刚石、类金刚石薄膜等多种材料的化学汽相沉积（CVD）制备等高新科技领域。

系统选用10套1kW高稳定程控微波功率源（10kW微波功率源）。内部单片机提供方便程控，采用了先进的磁控管灯丝降压跟踪技术，无电容电感滤波的高精度电压反馈调整稳定技术，磁控管水冷技术，以及完善的线路安全闭锁控制系统，使其工作寿命长，电气性能优良，安全可靠，操作简单方便。

本系统采用***新研制的具有特殊结构的微波反应腔和多管全方位分布馈能结构，以及专门设计的微波抑制段，并配以大容积石英放电腔。使微波功率集中，放电均匀，并能充满整个放电腔，从而达到快速大面积沉积薄膜的目的。

采用专门设计的真空管路，并配以直联式机械泵前级抽气，以及薄膜真空测控系统。使系统具备有从大气到1×10-1Pa的中低压强和10K~100Kpa的测量范围，方便控制和读数。

采用三路气体供给和控制系统，内置于设备机柜中，气路短、紧凑、控制调节方便。

系统采用紧凑简洁的主体结构，以及独立的控制单元。使整套设备外形美观，操作简便可靠。