多用途ECR微波等离子体系统 - 成都纽曼和瑞微波技术有限公司

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多用途ECR微波等离子体系统

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详细信息

HMEP 1kW/2450MHz多用途ECR微波等离子体系统

技术特点

●     系统采用HMEP，1kW/2450MHz高稳定程控微波功率源。运用完善的线路安全闭锁控制系统，使该系统工作寿命长，电气性能优良，安全可靠，操作简单方便。

●     微波传输系统由高性能微波环行器，销钉调配器，带反射波取样的水负载以及外部连接波导组成。它确保反射波对磁控管的良好隔离，并能方便地调节***佳匹配，达到微波功率的***佳传输。

●     圆柱形微波反应腔内设多极永磁ECR系统，可在很宽的运行范围内把微波功率耦合给等离子体，在等离子体放电室中产生高密度、高电离度、大面积均匀稳定的微波放电。为确保稳定工作, 腔壁采用双层水冷。

●     多端口等离子体放电腔带6～10个端口，是双层水冷结构的大容积放电腔。

●     系统主要用途： 1）金刚石等多种薄膜的化学汽相沉积的研究和中试加工；2）基片的刻蚀和灰化；3）作为高密度、宽束离子源；4）低温氧化物的生长；5）等离子体表面处理和其它实验加工。

技术参数

工作频率：                                                 2450±50MHz

输出功率：                                                    0.1 ~ 1kW 连续可调

功率稳定度：                                             优于±1%（在额定功率电平）

输出波导接口：                BJ-26 带FD-26标准法兰

输入电源：                    380V±10% 三相四线

冷却水流量：                 > /min

系统驻波系数：                VSWR ≤ 1.5

ECR工作磁场：                 >875GS

磁场电源：                    50V

真空系统：                    /min 涡轮分子泵

气路系统：                    四路MFC量程（可按用户要求选配）

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