小型ECR 微波等离子体MBE 反应器

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·	成都纽曼和瑞微波技术有限公司 [四川省]

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HMPR-202 小型ECR 微波等离子体MBE 反应器

技术特点

●   HMPR-202小型ECR反应器专为分子束外延应用（MBE）而设计。它具有高稳定、高密度、低损耗、低温及低压操作等特点。

●   可广泛用于贵重材料包括GaN，SiC等的表面沉积。

●   UHV结构，易于安装到现有的MBE系统上。

●   稳定可靠的真空腔。

● 低气压、高密度及低能量的离子源。

技术参数

工作频率：           2450 ± 50MHz

输入功率：            0~200 W

接口类型：            L16 N, 50Ω

材料：               不锈钢, UHV结构

外形尺寸：            φ50 x 带φ86一体法兰

冷却水：              ≥/min

气体接口：            Y, VCR装置

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