工业生产中，有许多物品是不能在高温条件下进行干燥处理。如一些药品、化学制品、营养食品以及人参、鹿茸等高档中草药，为了保证产品质量，其干燥处理必须低于100℃或室温的条件下进行。众所周知气压降低，水的沸点也降低，如在一个大气压（101.3kpa）下，水的沸点是100℃，而在0.073大气压（7.37kpa）下，水的沸点是40℃。在真空条件下，加热物体可以使物体内部水分在无温升状态下蒸发。常规真空干燥法热传导的速度很缓慢，效率抵，并且温度控制难度大，被加热物料产生内外温差。微波加热是一种辐射加热，是微波与物料直接作用，使其里外同时被加热，无须通过对流或传导来传递热量，所以加热快，干燥效率高，干燥质量好。为食品工程、制药工程、生物工程、化工工程、材料工程以及农副产品深加工提供了一种新型、高效的干燥设备。如用微波真空干燥设备加工无耔葡萄干，将传统工艺65℃、24小时热风烘干变为50℃、5小时微波真空干燥；加工速溶桔粉，产品不仅保持原有的色香味，其维生素的保留远高于喷雾干燥。在脱水蔬菜上微波真空干燥设备的效率为常规真空干燥设备的4倍，可见微波真空干燥是一项经济效益显著、推广价值极高的高新技术。