输入电压: 400 V AC, 3 ph, 50 Hz, 3 x 45 A;

(推荐保险丝:50 A / NH00-gL/gG)

外部尺寸：宽 = 800 mm, 长 = 1200 mm,高 = 2250 mm

高频功率: Max. 3 kW cw, 2450 MHz

晶圆尺寸： 100, 150, 200 and 300 mm

空气压缩：  特性: 不含油, 干燥, 5 ìm 过滤

                    压力: 6 bar - 9 bar

工作条件:   周边温度: 5 °C - 45 °C 无冷凝

                   T max. = 45 °C < 3 h/d,

                   湿度: 30 °C时湿度80%,

                    45 °C 时线性降至50%

输入气体： 氧气 (O2), 氮气 (N2), 四氟甲烷 (CF4), 六氟化硫 (SF6), 氩气 (Ar);

气体压力:   0.5 mbar - 5.3 mbar

冷却: 内部风冷和水冷

         冷却水压力：4.5 bar - 6 bar,

         入水口温度： 20 °C - 25 °C

工作板: 温度: 20 °C - 200 °C

              加热/冷却液: 油

连接器: CEE-Connector plug 63 A (电源),

             CEE-Connector-female (真空泵),

             USB / COM / Ethernet (接口),

              ½“ lock coupling Rectus Series 87 (冷却水),

              ¼“ 转矩离合器 (压缩空气),

              6 mm Swagelok (输入气体),

              ISO-K63 (真空泵输出),

              Stud M6 (PE)

装配： 全封闭式铝壳

            固体封装组装

重量:    约 550 kg